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実験装置の紹介

~ 物性測定 ~

・ 磁気特性測定システム

　Quantum Design社製の、静磁化のSQUIDによる精密測定装置(Magnetic Properties Measurement System: MPMS)です。μ-メタルシールド、その他の工夫により、低磁場(〜100 mOe)における磁化測定も 可能となっています。
mpms

・ 3He-4He希釈冷凍器(1)

　これは、超低温（〜13mK）を発生させる装置で、136号室に設置されています。この装置は、パソコンを用いて自動測定できるようになっています。
dilution136_1
dilution136_2

・ 3He-4He希釈冷凍器(2)

　これは、超低温（〜13mK）を発生させる装置で、137号室に設置されています。。最下部の混合器が最低温度となり、そこに試料を取り付けます。測定装置を用いて電気抵抗、帯磁率等を測定します。 SQUIDを用いた精密測定もできます。
dilution137

〜 試料作製 〜

・ 電子線描画装置

　日立のSEMとRaithの描画システムが組み合わされています。〜100nmの微細な図形を作成できます。
electron_beam

・ 雰囲気炉

　光洋リンドバーグ社製の装置です。さまざまなガス雰囲気中で使用できます。試料作成等に使われます。
electric_furnace
electric_furnace

・ 高周波スパッタ装置

　薄膜を作製する日電アネルバ社製の装置です。３ターゲットまで装着可能です。
spattering

・ 蒸着装置

　これも薄膜を作製する装置です。膜厚計が装着されています。
deposition