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範囲 |
最小分解能 |
再現性 |
最大速度 |
備考 |
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主軸 |
θ |
0〜26ﾟ |
0.1" |
±2" |
0.1111ﾟ/sec |
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第一結晶部 |
Ｘ1 (結晶前後移動) |
5〜-15mm |
0.1μm |
±1μm |
0.8mm/sec |
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Ｙ1 (結晶平行移動) |
400mm |
0.1μm |
±3μm |
0.4mm/sec |
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Ｚ1 (結晶上下移動) |
±5mm |
0.02μm |
±1μm |
0.16mm/sec |
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θ1 |
±2ﾟ |
0.02" |
0.1" |
0.22216ﾟ/sec |
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φ1 (面内回転) |
±5ﾟ |
7.2" |
36" |
8ﾟ/sec |
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ＴZ1 (ふり) |
±2ﾟ |
0.05" |
10" |
0.05556ﾟ/sec |
二枚板方式 |
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ＴY1 (あおり) |
±2ﾟ |
0.25" |
±2" |
0.27692ﾟ/sec |
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第二結晶部 |
Ｘ2 (結晶前後移動) |
±5mm |
0.1μm |
±1μm |
0.8mm/sec |
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Ｚ2 (結晶上下移動) |
±5mm |
0.02μm |
±1μm |
0.16mm/sec |
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θ2 |
±2ﾟ |
0.02" |
0.1" |
0.22216ﾟ/sec |
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φ2 (面内回転) |
±5ﾟ |
7.2" |
36" |
8ﾟ/sec |
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ＴZ2 (ふり) |
±2ﾟ |
0.05" |
10" |
0.05556ﾟ/sec |
二枚板方式 |
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ＴY2 (あおり) |
±2ﾟ |
0.25" |
±2" |
0.27692ﾟ/sec |
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