結像型硬Ｘ線顕微鏡の研究開発

ゼルニケ型硬Ｘ線顕微鏡の光学系［準平行光照明系を採用］

１．解像度評価

60 nmのLine-&-Spaceまで解像できている。

これは10 keV以上のエネルギーのＸ線では世界最高記録！［2002年9月現在］．

２．ゼルニケ型位相差顕微鏡による透明試料の可視化

7 μm厚のポリスチレン粒子のＸ線顕微鏡像．

(a)吸収コントラスト，(b)ポジティブコントラスト，(c)ネガティブコントラスト像．スケールは10 μm．

(a)ではほとんど粒子構造が判別できないのに対し，(b)と(c)では明瞭に認識でき，かつ互いにコントラストが反転している。

顕微CTによる３次元像（吸収コントラストモード［位相板無し］）

（左）洗剤粒子のＸ線顕微鏡CT再構成像．ピクセルサイズは1.5 μm，視野は約470 μm四方．内部の粗密構造が明瞭に観察できている。

（右）銅#2000メッシュのＸ線顕微鏡CT再構成像．ピクセルサイズは0.24 μm，視野は約60 μm四方．再構成像の空間分解能はエッジの立ち上がりから約0.6 μmと見積もられる。二つの再生像とも，ファイルサイズを小さくするために画素数を少なくして表示しているので，粗い像になってしまっている。

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Compiled by Y. Kagoshima