BL24XU輸送部駆動系・PM16Cアドレス設定表
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機器名
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軸名
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CW方向
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CCW方向
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最小分解能 (Full)
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PM16Cの番号
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アドレス
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水冷４象限スリット１
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UPPER
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上方
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下方
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0.04μm
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TC-1
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0
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|
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LOWER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
〃
|
1
|
|
|
HALL
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
2
|
|
|
RING
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
3
|
|
水冷４象限スリット２
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UPPER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
〃
|
4
|
|
|
LOWER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
〃
|
5
|
|
|
HALL
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
6
|
|
|
RING
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
7
|
|
水冷４象限スリット３
|
UPPER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
〃
|
8
|
|
|
LOWER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
〃
|
9
|
|
|
HALL
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
a
|
|
|
RING
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
b
|
|
水冷４象限スリット４
|
UPPER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
〃
|
c
|
|
|
LOWER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
〃
|
d
|
|
|
HALL
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
e
|
|
|
RING
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
f
|
|
単色４象限スリット１
|
UPPER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
TC-2
|
0
|
|
|
LOWER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
〃
|
1
|
|
|
HALL
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
2
|
|
|
RING
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
3
|
|
単色４象限スリット２
|
UPPER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
〃
|
4
|
|
|
LOWER
|
上方
|
下方
|
0.04μm
|
〃
|
5
|
|
|
HALL
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
6
|
|
|
RING
|
ホール側
|
リング側
|
0.04μm
|
〃
|
7
|
|
後置鏡
|
Bend
|
曲げ方向
|
Flat
|
0.002μm
|
〃
|
8
|
|
|
Y
|
ホール
|
リング
|
0.5μm
|
〃
|
9
|
|
|
Z
|
上方
|
下方
|
0.2μm
|
〃
|
a
|
|
|
θy
|
リング方向
右ネジ
|
リング方向
左ネジ
|
0.02566″
|
〃
|
b
|
|
|
θz
|
上方右ネジ
|
上方左ネジ
|
0.18″
|
〃
|
c
|
|
|
－
|
|
|
|
〃
|
d
|
|
|
－
|
|
|
|
〃
|
e
|
|
|
－
|
|
|
|
〃
|
f
|