BL24XU分光器駆動系・PM16Cアドレス設定表
BL24XU分光器A駆動系
|
軸名 |
CW方向 |
CCW方向 |
最小分解能 (Full) |
PM16Cの番号 |
アドレス |
|
|
分光器A |
Y |
下流 |
上流 |
1μm |
Mono‐A |
0 |
|
|
θ1 |
上方右ねじ |
上方左ねじ |
0.1″ |
〃 |
1 |
|
|
θ2 |
上方右ねじ |
上方左ねじ |
0.1″ |
〃 |
2 |
|
|
△θX1 |
ホール方向右ねじ |
ホール方向左ねじ |
3″ |
〃 |
3 |
|
|
△θY1 |
下流方向右ねじ |
下流方向左ねじ |
3″ |
〃 |
4 |
|
|
X1 |
ホール方向 |
リング方向 |
0.25μm |
〃 |
5 |
|
|
△θX2 |
ホール方向右ねじ |
ホール方向左ねじ |
3″ |
〃 |
6 |
|
|
△θY2 |
下流方向右ねじ |
下流方向左ねじ |
3″ |
〃 |
7 |
|
|
X2 |
ホール方向 |
リング方向 |
0.25μm |
〃 |
8 |
|
|
θs |
鉛直上方右ねじ |
鉛直上方左ねじ |
0.2″ |
〃 |
9 |
|
|
Zs |
鉛直上方 |
鉛直下方 |
0.25μm |
〃 |
a |
BL24XU分光器B駆動系
|
軸名 |
CW方向 |
CCW方向 |
最小分解能 (Full) |
PM16Cの番号 |
アドレス |
|
|
分光器B |
Y |
下流 |
上流 |
1μm |
Mono‐B |
0 |
|
|
θ1 |
上方右ねじ |
上方左ねじ |
0.1″ |
〃 |
1 |
|
|
θ2 |
上方右ねじ |
上方左ねじ |
0.1″ |
〃 |
2 |
|
|
△θX1 |
ホール方向右ねじ |
ホール方向左ねじ |
3″ |
〃 |
3 |
|
|
△θY1 |
下流方向右ねじ |
下流方向左ねじ |
3″ |
〃 |
4 |
|
|
X1 |
ホール方向 |
リング方向 |
0.25μm |
〃 |
5 |
|
|
△θX2 |
ホール方向右ねじ |
ホール方向左ねじ |
3″ |
〃 |
6 |
|
|
△θY2 |
下流方向右ねじ |
下流方向左ねじ |
3″ |
〃 |
7 |
|
|
X2 |
ホール方向 |
リング方向 |
0.25μm |
〃 |
8 |
|
|
θs |
鉛直上方右ねじ |
鉛直上方左ねじ |
0.2″ |
〃 |
9 |
|
|
Zs |
鉛直上方 |
鉛直下方 |
0.25μm |
〃 |
a |
(注)分光器A、Bとも、θ2はエンコーダ付。Z1、Z2は手動。
θs、Zsは第二結晶部に取りつけられたスリット（アラインメント用）。
BL24XU分光器C駆動系
|
軸名 |
CW方向 |
CCW方向 |
最小分解能 (Full) |
PM16Cの番号 |
アドレス |
|
|
分光器C |
Y |
下流 |
上流 |
0.1μm |
Mono‐C |
0 |
|
|
θ |
鉛直上方右ねじ |
鉛直上方左ねじ |
0.1″ |
〃 |
1 |
|
|
Ty1 |
下流方向右ねじ |
下流方向左ねじ |
0.25″ |
〃 |
2 |
|
|
Tz1 |
上方右ねじ |
上方左ねじ |
0.05″ |
〃 |
3 |
|
|
φ1 |
ホール方向右ねじ |
ホール方向左ねじ |
7.2″ |
〃 |
4 |
|
|
X1 |
ホール方向 |
リング方向 |
0.1μm |
〃 |
5 |
|
|
△θ1 |
鉛直上方右ねじ |
鉛直上方左ねじ |
0.02″ |
〃 |
6 |
|
|
Z1 |
鉛直上方 |
鉛直下方 |
0.02μm |
〃 |
7 |
|
|
Ty2 |
下流方向右ねじ |
下流方向左ねじ |
0.25″ |
〃 |
8 |
|
|
Tz2 |
上方右ねじ |
上方左ねじ |
0.05″ |
〃 |
9 |
|
|
φ2 |
ホール方向右ねじ |
ホール方向左ねじ |
7.2″ |
〃 |
a |
|
|
X2 |
ホール方向 |
リング方向 |
0.1μm |
〃 |
b |
|
|
△θ2 |
鉛直上方右ねじ |
鉛直上方左ねじ |
0.02″ |
〃 |
c |
|
|
Z2 |
鉛直上方 |
鉛直下方 |
0.02μm |
〃 |
d |
(注) θはエンコーダ付。ピエゾ駆動は行なわない。